半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ搬送ツールは、高温、化学腐食、高精度位置決めなど、様々な条件下で確実に動作する必要があります。ウェーハピンセット、真空吸引装置、ロボットグリッパーなどのツールの材料選定は、ウェーハの歩留まりと生産効率に直接影響します。
Shengwen社の高性能PEEK半製品(ポリエーテルエーテルケトンシート/ロッド/チューブ)は、優れた耐熱性、機械的強度、耐薬品性を備えており、半導体ウェハハンドリングツールの理想的な材料となっています。
Shengwenは、さまざまなクリーンルーム環境や精度要件に対応するため、複数の仕様のPEEK半製品を幅広く提供しています。
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製品形態 |
サイズ範囲 |
標準色 |
カスタマイズオプション |
代表的なアプリケーション |
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PEEKシート |
厚さ:3-100mm |
ブラック/ナチュラル |
カスタム可能 |
ウェハグリッパー、ロボット部品 |
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PEEKロッド |
直径:5-100mm |
ブラック/ナチュラル |
カスタム可能 |
ウェハーピンセット、真空吸引棒 |
ウェハーハンドリングツールは、精度を維持しながら繰り返し使用する必要があります。PEEKは優れた機械的強度と剛性を備えているため、ピンセット、グリッパー、その他の部品が長期間使用しても変形したり破損したりすることがありません。
半導体製造プロセスには、高温工程がしばしば伴います。PEEKは高温下でも安定した性能を維持するため、熱処理やベーキング工程で使用されるウェーハ搬送装置に適しています。
ウェーハの洗浄や加工には、化学溶剤が頻繁に使用されます。PEEKは酸、アルカリ、有機溶剤に対して優れた耐性を示し、化学環境下での長期安定性を確保します。
クリーンルームでは、粒子汚染に関して厳しい要件が課せられています。PEEKは表面が滑らかで摩擦係数が低いため、使用中に発生する粒子が最小限に抑えられ、半導体クリーンルームの要件を満たします。
PEEKは金属よりも軽量であるため、自動ロボットアームへの負荷を軽減し、機器の稼働効率と寿命を向上させる。
Shengwen PEEKの半製品は、精密機械加工により、以下のウェハハンドリングツールに加工することができます。
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用途 |
Shengwen PEEK の利点 |
処理方法 |
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ウェハーピンセット |
軽量で滑らか、跡が残らない |
CNCフライス加工、彫刻 |
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掃除機用延長管 |
高強度、優れた気密性 |
旋削、穴あけ |
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ロボットグリッパー |
耐摩耗性、寸法安定性 |
5軸加工 |
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ウェハーキャリア |
高温耐性、低粒子 |
CNCフライス盤 |
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位置決め治具 |
高精度、非導電性 |
精密旋削・フライス加工 |
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利点 |
Shengwenの配送方法 |
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材料純度保証 |
Shengwen PEEK半製品は、イオン放出量の少ない高品質の原材料を使用しており、繊細なプロセスに適しています。 |
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完全なサイズ範囲 |
シート、ロッドを在庫しており、さまざまな加工ニーズに対応します。 |
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カラーオプション |
ブラック/ナチュラルは在庫あり、カスタムカラーはご要望に応じて承ります。 |
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加工適応性 |
Shengwen PEEK半製品は、複雑な精密部品の加工において優れた加工性を提供します。 |
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迅速な配達 |
少量のサンプル注文は即日発送、大量注文は安定した納期で対応 |
Shengwen PEEK半製品は、厳しい条件下でも安定した性能を維持します。
Shengwen高性能エンジニアリングプラスチック半製品 – 精密製造のための信頼性の高い材料
Shengwen社は、PEEK、PSU、PPSU、PEIなどの高性能エンジニアリングプラスチック半製品の研究開発および製造を専門としており、半導体製造、電子機器、医療機器、産業工学分野で幅広く使用されています。
特注仕様、カラー、または技術的なご相談については、Shengwenまでお問い合わせください。
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