In der Halbleiterfertigung müssen Wafer-Handhabungswerkzeuge unter vielfältigen Bedingungen zuverlässig funktionieren, darunter hohe Temperaturen, chemische Korrosion und präzise Positionierung. Die Materialauswahl für Werkzeuge wie Waferpinzetten, Vakuumstäbe und Robotergreifer beeinflusst die Waferausbeute und die Produktionseffizienz direkt.
Shengwen Hochleistungs PEEK Halbfertigprodukte (Polyetheretherketon-Platten/-Stäbe/-Rohre) sind aufgrund ihrer ausgezeichneten Hitzebeständigkeit, mechanischen Festigkeit und chemischen Beständigkeit zum idealen Material für Werkzeuge zur Handhabung von Halbleiterwafern geworden.
Shengwen bietet eine Vielzahl von PEEK-Halbzeugen in verschiedenen Spezifikationen an, um unterschiedlichen Reinraumumgebungen und Präzisionsanforderungen gerecht zu werden:
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Produktform |
Formatbereich |
Standardfarben |
Individuelle Anpassungsoptionen |
Typische Anwendungen |
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PEEK-Platten |
Dicke: 3-100mm |
Schwarz / Natürlich |
Benutzerdefiniert verfügbar |
Wafer-Greifer, Roboterkomponenten |
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PEEK-Stäbe |
Durchmesser: 5-100mm |
Schwarz / Natürlich |
Benutzerdefiniert verfügbar |
Waffelpinzette, Staubsaugerrohre |
Werkzeuge zur Waferhandhabung müssen wiederholt und präzise eingesetzt werden. PEEK bietet hervorragende mechanische Festigkeit und Steifigkeit und gewährleistet so, dass Pinzetten, Greifer und andere Komponenten sich auch bei langfristigem Gebrauch nicht verformen oder brechen.
Halbleiterprozesse beinhalten häufig Hochtemperaturschritte. PEEK behält seine Stabilität auch bei erhöhten Temperaturen bei und eignet sich daher für Wafer-Handling-Werkzeuge, die bei Wärmebehandlungs- und Backprozessen eingesetzt werden.
Chemische Lösungsmittel werden häufig bei der Waferreinigung und -bearbeitung eingesetzt. PEEK weist eine ausgezeichnete Beständigkeit gegenüber Säuren, Laugen und organischen Lösungsmitteln auf und gewährleistet so die Langzeitstabilität in chemischen Umgebungen.
Reinräume unterliegen strengen Anforderungen hinsichtlich Partikelkontamination. PEEK zeichnet sich durch glatte Oberflächen und niedrige Reibungskoeffizienten aus, wodurch während der Anwendung nur minimale Partikel entstehen und somit die Anforderungen von Reinräumen in der Halbleiterindustrie erfüllt werden.
PEEK ist leichter als Metalle, wodurch die Belastung automatisierter Roboterarme reduziert und die Betriebseffizienz und Lebensdauer der Anlagen verbessert werden.
Durch Präzisionsbearbeitung können Shengwen PEEK-Halbzeuge zu folgenden Wafer-Handhabungswerkzeugen verarbeitet werden:
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Anwendung |
Shengwen PEEK-Vorteil |
Verarbeitungsmethode |
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Waffelpinzette |
Leicht, glatt, hinterlässt keine Spuren |
CNC-Fräsen, Gravieren |
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Staubsaugerrohre |
Hohe Festigkeit, gute Luftdichtigkeit |
Drehen, Bohren |
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Robotergreifer |
Verschleißfest, formstabil |
5-Achs-Bearbeitung |
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Waferträger |
Hohe Temperaturbeständigkeit, geringe Partikelanzahl |
CNC-Fräsen |
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Positionierungsvorrichtungen |
Hochpräzise, nichtleitend |
Präzisionsdrehen/Fräsen |
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Vorteil |
Wie Shengwen liefert |
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Sicherstellung der Materialreinheit |
Shengwen PEEK-Halbzeuge werden aus hochwertigen Rohstoffen mit geringer Ionenausgasung hergestellt und eignen sich daher für empfindliche Prozesse. |
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Komplette Größenauswahl |
Bleche und Stäbe ab Lager, für unterschiedliche Verarbeitungsanforderungen |
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Farbtöne |
Schwarz/Naturfarben sind auf Lager, Sonderfarben auf Anfrage erhältlich. |
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Anpassungsfähigkeit an die Bearbeitung |
Shengwen PEEK-Halbzeuge bieten eine hervorragende Bearbeitbarkeit für komplexe Präzisionsteile. |
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Schnelle Bereitstellung |
Kleine Musterbestellungen werden noch am selben Tag versandt, stabile Lieferzeiten für Großbestellungen |
Shengwen PEEK-Halbzeuge behalten auch unter anspruchsvollen Bedingungen ihre stabile Leistungsfähigkeit:
Shengwen Hochleistungskunststoff-Halbzeuge – Zuverlässige Werkstoffe für die Präzisionsfertigung
Shengwen ist spezialisiert auf die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von Hochleistungs-Kunststoffhalbzeugen, darunter PEEK, PSU, PPSU, PEI und andere fortschrittliche Materialien, die in der Halbleiterfertigung, Elektronik, Medizintechnik und im Maschinenbau weit verbreitet sind.
Für individuelle Spezifikationen, Farben oder technische Beratung wenden Sie sich bitte an Shengwen.
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